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项目编号: 201710359060
项目名称: 基于新型2D材料的光电成像系统的设计
所属院系: 电子科学与应用物理学院
项目主持人: · 姓名:贵体军
· 专业:2015微电子科学与工程
· Email:2468148781@qq.com
项目成员: · 姓名:杜睿超
· 专业:2015微电子科学与工程
· Email:1750955054@qq.com
项目成员: · 姓名:钟威
· 专业:2015微电子科学与工程
· Email:419781912@qq.com
项目成员: · 姓名:冯雨舟
· 专业:2015微电子科学与工程
· Email:
项目成员: · 姓名:朱韬略
· 专业:2015微电子科学与工程
· Email:569964074@qq.com
指导教师1: · 姓名:吴春艳
· 职称:教授
· 研究方向:
项目内容简介: 随着集成电路技术的发展,传统Si基工艺逐渐逼近其加工极限,人们不断探讨新型半导体材料、新的加工工艺在集成电路领域的应用。二维过渡金属二硫属化合物(TMDs,如MoS2)由于其优良的光电特性,近年来在纳米光电探测等领域引起了人们较大的关注。本项目拟结合L-B膜、喷涂等成膜工艺,探讨基于MoS2等新型2D材料的纳米光电探测器的集成,并结合外电路,实现快速响应的光电成像系统。
项目特色与创新点: 1. 采用具有良好光电特性的新型2D材料,有望实现高性能光电探测器的制备; 2. 以L-B膜、喷涂等成膜工艺取代微电子工艺加工的高真空、高精度技术,有望降低器件成本并利于规模化生产。